Speciální systémy
 |
SmartScope ATSRozsah stroje XYZ 610 x 610 x 200 mm (Extra X 760 mm, Extra Z 300, 400 mm) Přesnost: XY - E2 = (1,5 + 3L/1000) μm Z - E1 = (2,5 + 5L/1000) μm |
 |
SmartScope APEXRozsah stroje XYZ 200 x 200 x 100 mm (Extra X 300 mm, Extra Z 150 mm) Přesnost: XY - E2 = (1,0 + 2L/1000) μm Z - E1 = (1,5 + 5L/1000) μm |
.